怎样选择干式真空泵

為(wèi)了适应不同的使用(yòng)要求，干式真空泵被分(fēn)為(wèi)许多(duō)不同类型的设备。对此，為(wèi)了适应不同的使用(yòng)需求，下面将介绍如何正确选择它们。

不同类型的干式真空泵，我们总是渴望能(néng)够减小(xiǎo)它们的物(wù)理(lǐ)尺寸。然而，这与真空泵的抽速相矛盾，干式真空泵的抽速与容积成正比。较小(xiǎo)的物(wù)理(lǐ)尺寸意味着體(tǐ)积也很(hěn)小(xiǎo)。当然，影响干式真空泵抽速的另一个重要因素是速度。為(wèi)了使小(xiǎo)型真空泵的吸气速度与大型真空泵的吸气速度相匹配，需要提高速度。改变干式真空泵转速的方法有(yǒu)两种，一种是改变電(diàn)源的频率，即使用(yòng)变频器；另一种是改变变速箱的传动比。其中，使用(yòng)变频器的优点是可(kě)以提供闭环控制，但在重载时容易造成转矩损失。改变变速箱的传动比是一种非常经济的方法，当然只能(néng)提供单速，无法控制。

意外的干式真空泵错误会降低机器效率，影响晶圆生产和交付，甚至导致晶圆报废和其他(tā)零件的加工损坏。由于螺杆设计采用(yòng)单级设计，与滚珠槽、爪形和组合等多(duō)级泵相比，使用(yòng)的零件数量可(kě)减少60%。这对于干式真空泵的稳定性和未来维护成本来说是一个很(hěn)大的优势。

一般来说，如果用(yòng)户认為(wèi)功耗对他(tā)来说很(hěn)重要，那么选择内压螺杆干式真空泵可(kě)能(néng)是一个不错的选择，而氮含量对他(tā)来说并不重要。但总的来说，对废气处理(lǐ)的要求越来越严格，未来减少氮气的使用(yòng)量就显得尤為(wèi)重要。如果您想在不使用(yòng)简单的库存控制泵改变它们的情况下处理(lǐ)各种半导體(tǐ)工艺，外部压缩螺钉干式真空泵是较好的选择。

结合上述所有(yǒu)设计类型的优点是理(lǐ)想的，具體(tǐ)取决于具體(tǐ)情况，但目前还不可(kě)能(néng)。因此，用(yòng)户需要了解干式真空泵的设计类型，然后根据自己的工艺特点了解不同类型的泵设计的影响。这种选择可(kě)以降低干式真空泵使用(yòng)成本，并获得更長(cháng)的使用(yòng)寿命和稳定的真空系统。