简单了解一下干式真空泵

干式真空泵（也称干式机械泵）是指泵在常压下可(kě)启动抽气，可(kě)将抽吸的气體(tǐ)直接排放到大气中。泵腔内无油或其他(tā)工作介质，压力等于或接近油封真空泵的机械真空泵。

截至2013年，真空行业使用(yòng)的机械真空泵大多(duō)采用(yòng)油、水或其他(tā)聚合物(wù)等流體(tǐ)作為(wèi)泵的工作介质，在泵内具有(yǒu)冷却、密封、润滑等多(duō)重功能(néng)。随着科(kē)學(xué)技术的发展和真空应用(yòng)领域的扩大，原有(yǒu)的机械真空泵及其排气系统有(yǒu)两个迫切需要解决的问题：一是泵的工作介质倒流，污染被抽容器，而这种回流在很(hěn)多(duō)情况下，会影响产品的质量和数量，增加设备的维护成本。其次，真空泵中的介质由于某些过程中的反应物(wù)而严重变质，使泵无法正常工作。

对于普通的无油真空系统，虽然可(kě)以使用(yòng)油封真空泵和冷阱或吸附阱等附件来防止回流，但不能(néng)彻底解决问题，使系统复杂化。使用(yòng)合适类型的干式真空泵可(kě)以达到预期的效果。

干式真空泵应用(yòng)广泛，主要表现在以下几个方面：

1、低压化學(xué)气相沉积多(duō)晶硅制备工艺；

2、半导體(tǐ)蚀刻工艺。在这些生产过程中经常使用(yòng)干式真空泵或产生腐蚀性气體(tǐ)和磨料颗粒；

3、对于半导體(tǐ)工艺以外的一些会产生颗粒的工艺，预计颗粒不会混入干式真空泵的泵油中，预计颗粒会从泵中排出。某些类型的干式机械真空泵可(kě)以满足要求；

4、化工、医药、食品等行业的蒸馏、干燥、脱气、包装过程中，应防止有(yǒu)机溶剂造成污染，应使用(yòng)干式真空泵；

5、采用(yòng)干式真空泵作為(wèi)一般无油洁净真空系统的前级泵，防止油污。